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　　6月4日至9日，高技術(shù)發(fā)展部有關(guān)人員參加“極大規(guī)模集成電路制造裝備和成套工藝”國(guó)家科技重大專項(xiàng)2014年項(xiàng)目（課題）評(píng)審會(huì)。